那些清華人：中國造芯故事掠影

芯片被人形象地比喻為國家的“工業(yè)糧食”，是信息產(chǎn)業(yè)的核心，是所有電子整機(jī)設(shè)備的“心臟”。20世紀(jì)90年代至今，人們先后經(jīng)歷了從PC（個人計算機(jī)）到智能手機(jī)，再到5G+AIoT時代，并且隨著我國成為全球智能手機(jī)、家電、各種智能電子產(chǎn)品等的制造和組裝中心，芯片需求量更是日益激增，芯片進(jìn)口金額早已遠(yuǎn)超石油。而近年來海外巨頭卻頻頻在核“芯”技術(shù)上“卡脖子”，中興、華為事件就是美國針對中國“芯”病的“精確狙擊”。

可以說，芯片強(qiáng)則產(chǎn)業(yè)強(qiáng)，芯片興則經(jīng)濟(jì)興，芯片產(chǎn)業(yè)是新時代下中國輸不起的戰(zhàn)爭。

半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)已經(jīng)上升為國家戰(zhàn)略產(chǎn)業(yè)；對此，中國近幾年在扶持半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的政策、資金等層面不斷加碼。2014年至今，國家先后出臺《國家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進(jìn)綱要》、“十三五”“十四五”集成電路產(chǎn)業(yè)規(guī)劃、各種稅收優(yōu)惠政策、國家大基金一、二期等政策，全力支持中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)實現(xiàn)自主可控。

我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)隨之進(jìn)入高速發(fā)展時代，“中國芯”紛紛實現(xiàn)重大突破。在芯片設(shè)計、制造、封測以及上游材料和設(shè)備的一整條垂直分工的全球產(chǎn)業(yè)鏈中，被形容為“半導(dǎo)體制造之光”的中芯國際、華虹宏力、華潤微、上海硅產(chǎn)業(yè)集團(tuán)（滬硅產(chǎn)業(yè)）等半導(dǎo)體制造領(lǐng)域企業(yè)，因承擔(dān)了中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的遠(yuǎn)大目標(biāo)而備受關(guān)注。

在這些企業(yè)中，眾多杰出的關(guān)鍵決策者出自清華大學(xué)，有78級無線電電子學(xué)系的江上舟、張文義；82級熱能工程系的張素心；83級無線電電子學(xué)系的趙海軍、工程物理系王曦；89級機(jī)械工程系的李煒等，為鑄就“中國芯”貢獻(xiàn)了一腔熱血，畢生熱情。他們的拼搏故事也在“中國芯”制造史上寫下了濃墨重彩的篇章，正是實踐清華校歌“大同爰躋，祖國以光”的最生動的寫照。

李煒：堅守國產(chǎn)硅片領(lǐng)域20年

半導(dǎo)體硅片是芯片制造的重要材料，是集成電路大廈的基礎(chǔ)，也是我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈與國際先進(jìn)水平差距最大的環(huán)節(jié)之一。特別是12英寸大硅片領(lǐng)域，在2017年以前甚至完全處于空白的狀態(tài)。這一格局在2017年底被悄然打破，國家02專項300mm（12英寸）大硅片項目的承擔(dān)主體——上海新昇半導(dǎo)體科技有限公司（下文簡稱為“上海新昇”）率先實現(xiàn)12英寸大硅片量產(chǎn)，填補了這一空白。

2002年上海國際工業(yè)博覽會上，李煒向時任中科院院長路甬祥院士介紹新傲科技開發(fā)的SOI產(chǎn)品

上海新昇成立于2014年，其主要創(chuàng)始人之一是中科院院士、時任中科院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所（簡稱“中科院上海微系統(tǒng)所”）所長的王曦。與王曦一起參與創(chuàng)辦上海新昇的還有現(xiàn)任滬硅產(chǎn)業(yè)執(zhí)行副總裁、上海新昇董事長李煒。20年前，同樣是由王曦和李煒等組成的創(chuàng)業(yè)團(tuán)隊建成了我國第一條SOI生產(chǎn)線，解決了我國SOI產(chǎn)品的有無問題。

值得一提的是，王曦和李煒都是清華大學(xué)校友，前者于1987年畢業(yè)自工程物理系，后者于1989年考入機(jī)械工程系。

師兄弟會師中科院上海微系統(tǒng)所

李煒報考清華大學(xué)時填報了三個志愿，分別是電機(jī)工程系、微電子系和機(jī)械工程系；結(jié)果他沒有如愿考入前兩個志愿，反而以名列前茅的成績被招入機(jī)械工程系深造。但李煒與集成電路的緣分似乎早已注定，10年之后，他兜兜轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)還是回到了微電子領(lǐng)域成了一名博士。

1997年，碩士畢業(yè)的李煒報考了中科院上海微系統(tǒng)所的博士，成為鄒世昌的弟子。彼時，鄒世昌院士事務(wù)繁忙，學(xué)生眾多，難以做到手把手指導(dǎo)每一位學(xué)生。同出自鄒世昌門下的王曦，便承擔(dān)起了教導(dǎo)師弟的重任，成為李煒事實上的第二導(dǎo)師。不過，因為那時候王曦正在德國做訪問學(xué)者，導(dǎo)致最初一年兩人只能遠(yuǎn)程聯(lián)系，直到1998年王曦受邀提前歸國，兩人才正式見面。此后，在國產(chǎn)硅片自主可控之夢的引導(dǎo)下，兩位同門踏上了攜手創(chuàng)業(yè)的艱難征程。

1998年8月，IBM宣布首次利用SOI（絕緣體上硅）材料研制出高速、低功耗、高可靠的微處理器；與傳統(tǒng)體硅CMOS技術(shù)相比，SOI技術(shù)使芯片性能提升了35%。消息一出，全球轟動，美國《科學(xué)》（Science）雜志、中國央視新聞聯(lián)播等媒體相繼作了報道。

作為微電子敏感核心技術(shù)，西方國家在該項技術(shù)方面對我國實施封鎖和禁運。但SOI其實并非新課題，我國材料科學(xué)界從1980年代起就在研究SOI材料，只是從未走出實驗室。當(dāng)IBM向全世界展現(xiàn)了SOI產(chǎn)業(yè)化的價值后，我國開始致力于將該技術(shù)推向市場。時任中科院上海微系統(tǒng)所所長的江綿恒博士將任務(wù)交給了王曦和李煒等6位博士。由6位青年博士組成的創(chuàng)業(yè)團(tuán)隊在2001年7月創(chuàng)立了上海新傲科技有限公司（簡稱“新傲科技”），開始了艱難的SOI材料產(chǎn)業(yè)化道路。

2002年新傲科技生產(chǎn)線落成，時任中科院副院長、微系統(tǒng)所所長江綿恒博士接見新傲創(chuàng)業(yè)團(tuán)隊合影留念

“我在新傲十幾年的工作，就是想辦法去找錢”

“這一步是在江綿恒所長鼓勵下，我們戰(zhàn)戰(zhàn)兢兢踏出去的。新傲科技到今年20年了，當(dāng)中甜酸苦辣咸全有，甜比較少，更多的是苦辣咸。”時隔20年，李煒這樣描述創(chuàng)立上海新傲的歷程。

新傲科技創(chuàng)立之初通過技術(shù)創(chuàng)新解決了我國航空領(lǐng)域急需SOI產(chǎn)品的有無問題，但科技創(chuàng)新不但要仰望星空，也要腳踏實地，從科學(xué)技術(shù)到產(chǎn)業(yè)成果，一頭連接著科研，一頭連接著市場，實現(xiàn)這樣的角色轉(zhuǎn)變并不容易。