(8)油擴(kuò)散噴射真空泵

油擴(kuò)散噴射真空泵又稱油增壓泵。其工作壓力范圍為10~10-2Pa，這個(gè)壓力范圍正好是高真空油擴(kuò)散泵和油封式機(jī)械泵抽氣能力下降的中間地帶。油封式機(jī)械泵的抽速隨壓力降低而明顯地減小，在10-1Pa時(shí)實(shí)際抽速幾乎為零，而大多數(shù)油擴(kuò)散泵在此壓力范圍內(nèi)抽速也很小。在1~10-1Pa工作壓力范圍內(nèi)，油增壓泵恰好具有較大的抽速。因此，油增壓泵除用做主泵外，常用到大型油擴(kuò)散泵的出口處，來增加其出口壓力，使前級(jí)機(jī)械泵能有效的工作，故稱其為油增壓泵。

油增壓泵的工作原理和擴(kuò)散泵相似，構(gòu)造和抽氣過程也相仿。圖1-11是大型五級(jí)油增壓泵的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖1-11 大型五級(jí)油增壓泵結(jié)構(gòu)圖

油增壓泵和油擴(kuò)散泵的區(qū)別:

①增壓泵在較低真空時(shí)工作性能好，工作壓強(qiáng)為10~10-2Pa;擴(kuò)散泵在較高真空時(shí)工作性能好，工作壓強(qiáng)是10-1~10-5Pa。

②擴(kuò)散泵抽出氣體是通過氣體分子擴(kuò)散到油蒸氣中，被高速油蒸氣分子碰撞，使氣體分子具有向下運(yùn)動(dòng)的速度;而增壓泵則是通過油氣流邊界層與被抽氣體間的黏性摩擦而夾帶氣體的。

③通常油增壓泵比油擴(kuò)散泵抽氣量高4~20倍，加熱功率高2~5倍，因?yàn)橛驼魵獾拿芏却?，氣流的速度高。而擴(kuò)散泵油蒸氣密度小，氣體流速低。

④兩種泵所用的油不同。增壓泵油應(yīng)能抗氧化，油蒸氣分子直徑大，飽和蒸氣壓高。

⑤增壓泵的最大出口壓力為40~100Pa，而擴(kuò)散泵為20~50Pa。

油增壓泵廣泛用于真空熔煉、真空熱處理、真空干燥、浸漬和蒸餾等設(shè)備的真空系數(shù)中。