丁衡高院士微米納米技術文集

目錄
發(fā)展戰(zhàn)略研究
面向21世紀的軍民兩用技術——微米/納米技術/（1995年6月）3
微型慣性測量組合/（1996年2月）17
微機電系統(tǒng)的科學研究與技術開發(fā)/（1997年9月）26
微小衛(wèi)星應用微小型技術有關問題的思考/（1997年11月）39
微系統(tǒng)與微米/納米技術及其發(fā)展/（2000年5月）47
MEMS技術發(fā)展戰(zhàn)略研究中需考慮的幾個主要問題/（2000年）60
關于微米/納米技術的認識與思考/（2000年12月）76
微米/納米技術當前發(fā)展動向/（2001年10月）87
抓住機遇，促進微米納米技術新發(fā)展/（2003年2月）96
微納技術進展、趨勢與建議/(2006年12月)104
微米納米科學技術發(fā)展及產業(yè)化啟示/(2007年12月)124
MEMS器件研制與產業(yè)化/（2009年10月）141
在“MEMS在機械與運載工程領域的應用研究”咨詢項目啟動會上的講話/(2012年5月)145
三十年不斷發(fā)展的MEMS慣性傳感器/（2023年10月）152
科學技術綜述微型慣性測量組合的關鍵技術/（1996年2月）163
微機電系統(tǒng)技術的實際應用——微型儀器/（2000年4月）173
微慣性儀表技術的研究與發(fā)展/ （2001年12月）183
《微納米加工技術及其應用》序/（2004年12月)193
微型化陀螺研究進展和展望/（2005年9月）195
《微納系統(tǒng)》譯叢總序/（2012年6月）209
微納電極陣等離子體微系統(tǒng)/（2024年5月）224
科學技術研究叉指式硅微加速度計的結構設計/（1998年11月）241
微型光學陀螺儀中聲表面波聲光移頻器的研究/（1999年2月）253
一種微型隧道效應磁強計的設計/（2000年8月）262
Investigation of the System Configuration  for Micro Optic Gyros/（2005年）269
A MEMS Hybrid Inertial Sensor Based on ConvectionHeat Transfer/（2005年6月）282
Micromachined Gas Inertial Sensor Based on Convection Heat Transfer/(2006年1月)294
靜電懸浮微機械加速度計設計/(2007年2月)312
A Study of Crossaxis Effect for Micromachined Thermal Gas Inertial Sensor/(2007年)324
Sensor Fusion Methodology to Overcome CrossAxis Problem 
for Micromachined Thermal Gas Inertial Sensor/(2009年)336
Modeling and Experimental Study on Characterization of Micromachined Thermal Gas Inertial Sensors/(2010年)355
A Micromachined Integrated Gyroscope and Accelerometer Based on Gas Thermal Expansion/(2013年)377
A Micromachined Gas Inertial Sensor Based on Thermal Expansion/(2014年)392
A Temperature Compensation Method for Micromachined Thermal Gas Gyroscope/(2015年)417
Thermal Characteristics of Stabilization Effects Induced by Nanostructures in Plasma Heat Source Interacting 
with Ice Blocks/(2022年)432
Reconfigurable Plasma Composite Absorber Coupled with Pixelated Frequency Selective Surface Generated by FDCGAN/(2022年12月)492