新型傳感技術及應用（第3版）

　　傳感器在當代科學技術中占有十分重要的地位，所有以計算機為基礎的自動化、智能化系統(tǒng)，都需要傳感器提供賴以做出實時決策的數(shù)據(jù)。近年來傳感器技術發(fā)展非常迅速，非常明顯的發(fā)展趨勢是：沿用傳統(tǒng)的作用原理和某些新效應，優(yōu)先使用晶體材料，采用微機械加工工藝和微電子技術，從傳統(tǒng)的結構設計轉向微機械加工工藝的微結構設計，研制各種新型傳感器及傳感器系統(tǒng)，以滿足體積、質量、功耗及動、靜態(tài)特性等方面的要求。本教材正是基于這一發(fā)展趨勢構思、選材編著的。本教材簡要介紹了新型傳感技術的發(fā)展趨勢、傳感技術中的一些共性基礎問題；重點介紹了傳感器技術中采用的先進材料、以硅材料為重點的先進制造技術；重點介紹了一些具有代表性的傳感器敏感結構的建模和模擬計算方法；介紹了多類具有代表性的傳感器的檢測原理及應用。本教材可作為儀器科學與技術、控制科學與工程、機械工程、物聯(lián)網(wǎng)工程等領域的高年級本科生、研究生的教材，也可供有關的工程技術人員參考。

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