聚焦離子束：應(yīng)用與實踐

　　聚焦離子束（FocusedIonBeam，F(xiàn)IB）是微納加工、芯片失效分析、微結(jié)構(gòu)科學(xué)研究的核心技術(shù)裝備之一。隨著材料、器件的微尺度化（納米甚至原子尺度）、高集成化（每平方厘米集成10億個以上的功能單元）、多功能化（在多種外場條件下工作），越來越多的材料微結(jié)構(gòu)研究、器件研發(fā)須使用聚焦離子束。全書共分七章，從聚焦離子束的結(jié)構(gòu)原理出發(fā)，緊密結(jié)合應(yīng)用與實踐，對聚焦離子束誘導(dǎo)沉積、濺射刻蝕、離子注入、離子束曝光、聯(lián)合使用模式以及樣品的前期處理進行闡述，并配有實際案例進行進一步詳解。

　　鄧昱，南京大學(xué)現(xiàn)代工程與應(yīng)用科學(xué)學(xué)院博士生導(dǎo)師，亞原子電子顯微鏡中心主任，中國分析測試協(xié)會青年委員會副主任委員，美國勞倫斯伯克利國家實驗室、國家電子顯微鏡中心訪問教授。