光學(xué)非球面新型檢測原理與技術(shù)

第1章光學(xué)非球面測量概述
1.1光學(xué)非球面的應(yīng)用
1.2光學(xué)非球面的分類及數(shù)學(xué)描述
1.2.1非球面分類
1.2.2非球面方程
1.3光學(xué)非球面檢測及評價指標(biāo)
1.3.1面形誤差和參數(shù)誤差
1.3.2幾何像差與澤尼克多項(xiàng)式
1.4光學(xué)非球面檢測方法
1.4.1接觸式測量法
1.4.2幾何檢測法
1.4.3干涉檢測法
參考文獻(xiàn)
第2章激光束偏轉(zhuǎn)法與逆向哈特曼波前檢測法
2.1激光束偏轉(zhuǎn)法
2.1.1測量光路方案
2.1.2光斑位置測量
2.1.3斜率計(jì)算
2.2逆向哈特曼波前檢測法
2.2.1逆向哈特曼波前檢測法測量原理
2.2.2測量分辨率、測量靈敏度及斜率測量范圍
參考文獻(xiàn)
第3章部分補(bǔ)償數(shù)字莫爾移相干涉法
3.1概述
3.2部分補(bǔ)償法
3.2.1基本原理
3.2.2非球面部分補(bǔ)償鏡設(shè)計(jì)
3.2.3自由曲面部分補(bǔ)償鏡設(shè)計(jì)
3.3數(shù)字莫爾移相干涉法
3.3.1虛擬干涉儀的建立
3.3.2莫爾合成與濾波
3.4系統(tǒng)標(biāo)定和校正
3.4.1干涉儀標(biāo)定
3.4.2部分補(bǔ)償鏡標(biāo)定
3.4.3被測非球面標(biāo)定
參考文獻(xiàn)
第4章非球面參數(shù)誤差干涉測量
4.1相關(guān)概念
4.1.1非球面的法線像差
4.1.2斜率非球面度
4.2基于補(bǔ)償位置的非球面參數(shù)誤差測量原理
4.2.1補(bǔ)償位置的定義
4.2.2部分補(bǔ)償干涉系統(tǒng)的補(bǔ)償位置理論模型
4.2.3非球面參數(shù)誤差與補(bǔ)償位置的關(guān)系
4.2.4非球面參數(shù)誤差測量原理
4.3非球面參數(shù)誤差測量方法
4.3.1非球面參數(shù)誤差測量系統(tǒng)
4.3.2非球面參數(shù)誤差測量流程
4.4非球面參數(shù)誤差測量系統(tǒng)及實(shí)驗(yàn)結(jié)果
4.4.1實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)搭建
4.4.2實(shí)驗(yàn)結(jié)果與分析
參考文獻(xiàn)
第5章非球面干涉檢測動態(tài)范圍擴(kuò)展研究
5.1高陡度非球面檢測的意義
5.2兩步載波拼接干涉測量
5.2.1數(shù)字莫爾移相法的局限
5.2.2兩步載波拼接干涉原理及關(guān)鍵技術(shù)
5.2.3仿真分析
5.2.4實(shí)測驗(yàn)證
5.2.5TCSM算法應(yīng)用討論
5.3數(shù)字莫爾-牛頓迭代優(yōu)化干涉測量
5.3.1數(shù)字莫爾-牛頓迭代解相原理
5.3.2仿真分析與比較
5.3.3實(shí)測驗(yàn)證
參考文獻(xiàn)
索引