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內(nèi)容簡介

　　本書介紹了靜電驅(qū)動式硅微機械振動陀螺和旋轉(zhuǎn)載體驅(qū)動式硅微機械振動陀螺的工作原理，對靜電驅(qū)動式和旋轉(zhuǎn)載體驅(qū)動式兩種硅微機械振動陀螺的動力學模型進行分析，求解得到其運動方程。在此基礎上，著重對旋轉(zhuǎn)載體驅(qū)動式硅微機械振動陀螺完整的制作工藝和信號處理等方面進行了介紹。該陀螺作為一種特殊的陀螺，專用于敏感旋轉(zhuǎn)載體的橫滾或俯仰角速度，如旋轉(zhuǎn)彈等。

作者簡介

　　王宏偉，男，1967年9月生，內(nèi)蒙古人。物理電子學博士，教授，碩士生導師，現(xiàn)任教于北京信息科技大學。長期從事傳感和敏感技術(shù)方面的研究工作，目前的研究方向為慣性傳感器、壓電換能器。曾主持多項國家和省部級科研項目，撰寫科技論文六十余篇，申請國家發(fā)明專利七項。著有《旋轉(zhuǎn)載體用硅微機械震動陀螺》。

圖書目錄

第一章綜述1
1.1MEMS概述2
1.2旋轉(zhuǎn)驅(qū)動陀螺概述10
1.3本書研究內(nèi)容20
第二章靜電驅(qū)動式硅微機械振動陀螺23
2.1靜電驅(qū)動式硅微機械振動陀螺動力學方程23
2.2靜電驅(qū)動式硅微機械振動陀螺的原理性誤差35
第三章旋轉(zhuǎn)驅(qū)動陀螺的數(shù)學模型41
3.1旋轉(zhuǎn)驅(qū)動陀螺工作原理41
3.2質(zhì)量運動的數(shù)學模型42
3.3誤差分析51
第四章陀螺力學參數(shù)計算55
4.1旋轉(zhuǎn)驅(qū)動陀螺硅振動元件結(jié)構(gòu)55
4.2硅質(zhì)量的轉(zhuǎn)動慣量57
4.3硅振動元件彈性梁的力學分析與計算59
4.4硅振動元件的振動阻尼66
第五章電容敏感77
5.1電容敏感77
5.2靜電吸合84
第六章陀螺力學性能分析89
6.1載體旋轉(zhuǎn)角速率對輸出信號的影響89
6.2固有頻率、阻尼比和相位角93
6.3溫度對阻尼系數(shù)的影響95
6.4有限元分析和仿真98
第七章信號檢測電路105
7.1電路組成105
7.2電路分析109
7.3電路的溫度誤差117
第八章硅振動元件制作工藝125
8.1濕法腐蝕125
8.2硅振動元件加工工藝流程127
8.3工藝詳細步驟128
第九章陀螺部件的制作及整體封裝139
9.1陀螺結(jié)構(gòu)組成139
9.2陶瓷極板的制作142
9.3“三明治”敏感元件的黏結(jié)147
9.4敏感元件與外殼底座的黏結(jié)及電極引線的焊接149
9.5外殼底座與外殼蓋的黏結(jié)150
9.6外殼的封接151
第十章陀螺性能測試155
10.1陀螺常溫性能的測試155
10.2理論計算與實驗結(jié)果比較159
10.3理論計算與實驗結(jié)果的誤差分析160
參考文獻165