高數(shù)值孔徑投影光刻物鏡的光學設計

　　《高數(shù)值孔徑投影光刻物鏡的光學設計》共五章。第一章介紹了研究的緣起、意義及國內(nèi)外研究現(xiàn)狀。第二章主要針對高數(shù)值孔徑投影光刻物鏡的光學設計及其相關內(nèi)容進行討論， 主要包括： 投影光刻物鏡的像質評價與基本設計指標、光學設計初始輸入條件、高數(shù)值孔徑投影光刻物鏡的結構形式與設計結果分析、波像差自動平衡算法。第三章主要對高數(shù)值孔徑投影光刻物鏡的偏振像差研究， 包括標量成像與矢量成像、偏振照明與偏振像差、瓊斯光瞳奇異值分解。第四章針對高數(shù)值孔徑投影光刻物鏡的像質補償策略進行研究， 包括一維公差和二維公差。第五章對高數(shù)值孔徑投影光刻物鏡的光學設計及其相關內(nèi)容做了總結與展望。

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