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內(nèi)容簡介

　　當(dāng)今時代，永磁直線電機在高速度、高精度、高載荷的運動控制中應(yīng)用廣泛，同時也帶來了更多的模型不確定性和更強的外部擾動問題。因此，兼顧高動態(tài)和高精度的運動控制指標(biāo)，降低上述問題帶來的影響是至關(guān)重要的。《有鐵芯直線電機推力波動的分析與補償方法》以尖端精密設(shè)備——光刻機中的雙工件臺系統(tǒng)為研究背景，針對有鐵芯直線電機存在的推力波動問題，進行了深入的理論分析和擾動補償方案研究?！队需F芯直線電機推力波動的分析與補償方法》可作為從事精密機電系統(tǒng)研發(fā)的科研人員和工程師的參考書。

作者簡介

暫缺《有鐵芯直線電機推力波動的分析與補償方法》作者簡介

圖書目錄

第1章緒論
1．1 研究背景、目的及意義
1．2 推力波動抑制的國內(nèi)外研究現(xiàn)狀及分析
1．3 主要研究內(nèi)容
第2章推力波動分析及反饋控制系統(tǒng)設(shè)計
2．1 直線電機推力波動分析
2．2 直線電機建模及反饋控制器設(shè)計
2．3 本章小結(jié)
第3章推力波動數(shù)據(jù)采集及辨識
3．1 推力波動數(shù)據(jù)采集方案設(shè)計及試驗結(jié)果
3．2 推力波動辨識方法研究
3．3 查表補償方法研究
3．4 本章小結(jié)
第4章基于迭代學(xué)習(xí)前饋的推力波動補償方法研究
4．1 迭代學(xué)習(xí)前饋補償方法理論分析
4．2 基于迭代學(xué)習(xí)前饋的推力波動補償方法仿真研究
4．3 基于逆模型迭代學(xué)習(xí)前饋的推力波動補償方法實驗驗證
4．4 本章小結(jié)
第5章基于擾動觀測器的推力波動補償方法研究
5．1 基于傳統(tǒng)擾動觀測器的推力波動補償方法研究
5．2 改進擾動觀測器設(shè)計
5．3 基于改進擾動觀測器的推力波動補償方法實驗驗證
5．4 基于改進擾動觀測器+迭代學(xué)習(xí)的推力波動補償方法研究
5．5 本章小結(jié)
結(jié)論
參考文獻