MEMS系統(tǒng)級建模

第一部分 物理和數(shù)學基礎
l 微系統(tǒng)建模概論
1．1 微系統(tǒng)的系統(tǒng)級模型需求
1．2 耦合多物理場微系統(tǒng)
1．3 多尺度建模與仿真
1．4 系統(tǒng)級模型術語
1．5 自動化模型降階方法
1．6 復雜問題處理：參考VLSI范式
1．7 模擬硬件描述語言
1．8 系統(tǒng)級模型的一般屬性
1．9 AHDL的仿真能力
1．10 可組合模型庫
1．11 參數(shù)提取、模型驗證和模型確認
1．12 總結
參考文獻
2 利用廣義基爾霍夫網(wǎng)絡理論的MEMS系統(tǒng)級建模——基本原理
2．1 引言
2．2 微系統(tǒng)特定系統(tǒng)級建模的廣義基爾霍夫網(wǎng)絡
2．2．1 微器件及系統(tǒng)的通用建模方法
2．2．2 從連續(xù)場到宏模型
2．2．3 宏模型推導方法
2．3 應用1：基于物理的靜電驅動泵的電流體宏模型
2．3．1 膜驅動的宏模型
2．3．2 閥的宏模型
2．3．3 管道的系統(tǒng)級模型
2．3．4 基于物理的微泵系統(tǒng)級模型
2．3．5 模型校準和參數(shù)提取
2．4 應用2：靜電驅動RF MEMS開關
2．5 總結
參考文獻
3 利用模型降階法的MEMS系統(tǒng)級建?！獢?shù)學背景
3．1 引言
3．2 概述
3．3 數(shù)學基礎
3．3．1 標量、矢量和矩陣
3．3．2 向量空間、子空間、線性無關和基
3．3．3 拉普拉斯變換
3．3．4 有理函數(shù)
3．3．5 范數(shù)
3．4 數(shù)值算法
3．5 線性系統(tǒng)理論
3．5．1 傳遞函數(shù)
3．5．2 對任意兩個不同LTI系統(tǒng)間偏差的測量
3．5．3 可控性和可觀性
3．5．4 實現(xiàn)理論
3．5．5 系統(tǒng)的穩(wěn)定性和無源性
3．6 模型降階方法的基本思想
3．7 矩匹配模型降階方法
3．7．1 矩和矩向量
3．7．2 投影矩陣W和V的計算
3．7．3 展開點的不同選擇
3．7．4 矩匹配MOR方法的發(fā)展
3．8 基于Gramian矩陣的模型降階方法
3．8．1 平衡截斷法的動機
3．8．2 平衡變換
3．8．3 截斷
3．8．4 平衡變換的計算
3．8．5 計算Gramian矩陣的加速方法
3．8．6 擴展到更普遍的系統(tǒng)
3．9 降階模型的穩(wěn)定性、無源性和誤差估計
3．9．1 矩匹配MOR方法的穩(wěn)定性、無源性和誤差界
……
第二部分 MEMS器件的集總單元建模方法
第三部分 MEMS器件的數(shù)學模型降價
第四部分 完整微系統(tǒng)建模
第五部分 軟件實現(xiàn)