NEMS傳感器的研制與應(yīng)用

　　《NEMS傳感器的研制與應(yīng)用》概述了NEMS傳感器的結(jié)構(gòu)類(lèi)型、加工工藝類(lèi)型和常用的測(cè)試方案，并對(duì)目前國(guó)內(nèi)外NEMS傳感器研究取得的研究成果和發(fā)展現(xiàn)狀進(jìn)行了總結(jié)分析：針對(duì)NEMS傳感器比較常見(jiàn)的場(chǎng)效應(yīng)晶體管結(jié)構(gòu)，詳細(xì)闡述了兩種不同的一維納米結(jié)構(gòu)組裝NEMS器件的工藝方法，以及器件電路結(jié)構(gòu)加工工藝等；并將硅納米線場(chǎng)效應(yīng)晶體管結(jié)構(gòu)的傳感器應(yīng)用于空氣生物氣溶膠的在線檢測(cè)；對(duì)NEMS傳感器未來(lái)的發(fā)展方向進(jìn)行了展望。《NEMS傳感器的研制與應(yīng)用》可供相關(guān)科研單位技術(shù)人員和大專(zhuān)院校相關(guān)專(zhuān)業(yè)師生參考。

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