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內(nèi)容簡介

　　《MEMS慣性傳感器技術(shù)》從MEMS慣性傳感器的基本概念出發(fā)，簡單介紹了MEMS慣性傳感器的術(shù)語、分類、功能及作用原理；從研發(fā)和技術(shù)服務(wù)的角度簡述了MEMS慣性傳感器的敏感性和參數(shù)計算及其調(diào)整；給出了企業(yè)制造MEMS角速率陀螺的兩個企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)；詳細(xì)介紹了一單軸較大量程MEMS硅角速率陀螺的制造工藝；介紹了MEMS慣性傳感器的測試項目、測試方法及環(huán)境試驗；也從性能參數(shù)出發(fā)闡述了MEMS慣性傳感器的選擇原則，并介紹了國內(nèi)外可供選擇的MEMS慣性傳感器產(chǎn)品及其他像光纖陀螺、激光陀螺、垂直陀螺等慣性傳感器產(chǎn)品；特列了33個作者牽頭自行研制的不同量程型號的MEMS硅角速率陀螺使用說明書及其注釋和國內(nèi)外22個MEMS石英角速率陀螺技術(shù)條件及其注釋；又從MEMS慣性傳感器的應(yīng)用角度講述了MEMS慣性傳感器應(yīng)用的技術(shù)領(lǐng)域、MEMS角速率陀螺的應(yīng)用特點和MEMS慣性傳感器的安裝要求；還對十余年來MEMS慣性傳感器在各技術(shù)領(lǐng)域中典型的應(yīng)用實例進(jìn)行了一些粗淺的解析；最后，簡單地介紹了MEMS慣性傳感器的測試儀器和設(shè)備。

作者簡介

　　張志英，男，1942年出生于陜西省西安市周至縣。工程師。1962年考入西安交通大學(xué)，就讀于電機(jī)工程系工業(yè)企業(yè)電氣化與自動化專業(yè)。畢業(yè)后分配到國防科委第六研究院第六一八研究所工作，從事飛機(jī)自動飛行控制系統(tǒng)總體的研究。著重于自動飛行控制系統(tǒng)總體電路和機(jī)內(nèi)自檢測（BIT）及傳感器分系統(tǒng)的研究。在研究所工作的三十五年中，參加了五個大課題的研究工作。曾在國家第七個五年計劃（七五）和第八個五年計劃（八五）的航空重大科研項目中榮立二、三等功，并榮獲科學(xué)技術(shù)成果獎和科學(xué)技術(shù)進(jìn)步獎一、二、三等獎等，發(fā)表論文十?dāng)?shù)篇。曾任中國航空工業(yè)第六一八研究所飛機(jī)自動飛行控制系統(tǒng)總體專業(yè)組副組長，中國航空工業(yè)部ACT項目ICD工作組組長等職。1987年，受中國航空工業(yè)部派遣，作為ACT專家代表團(tuán)成員，出訪德意志聯(lián)邦共和國。還應(yīng)邀參加《電氣工程師手冊》（第二版，2000年6月，機(jī)械工業(yè)出版社出版）和《自動飛行控制系統(tǒng)》（2003年1月，國防工業(yè)出版社出版）兩書的編寫。退休后，受聘于西安高新技術(shù)開發(fā)區(qū)和北京中關(guān)村高新技術(shù)企業(yè)，從事MEMS慣性傳感器的研發(fā)和自動測量及自動控制系統(tǒng)的集成。曾任公司研發(fā)部部長、副總經(jīng)理、總工程師、技術(shù)專家等職。

圖書目錄

第1章 MEMS慣性傳感器術(shù)語
1．1 綜合術(shù)語
1．2 MEMS角速率陀螺術(shù)語
1．3 MEMS線加速度計術(shù)語
第2章 MEMS慣性傳感器分類
2．1 MlEMS角速率陀螺分類
2．2 MEMS線加速度計分類
第3章 MEMS慣性傳感器的功能
3．1 MEMS角速率陀螺的功能
3．2 MEMS線加速度計的功能
第4章 MEMS慣性傳感器作用原理
4．1．MEMS角速率陀螺作用原理
4．1．1 MEMS硅角速率陀螺的科里奧利作用原理
4．1．2 MEMS石英角速率陀螺的科里奧利作用原理
4．2 MEMS線加速度計作用原理
4．2．1 MEMS硅線加速度計的牛頓第二定律作用原理
4．2．2 MEMS石英線加速度計的牛頓第二定律作用原理
第5章 MEMS慣性傳感器的敏感極性
5．1 MEMS角速率陀螺的敏感極性
5．2 MEMS線加速度計的敏感極性
5．3 MEMS慣性測量單元IMU的敏感極性
第6章 MEMS慣性傳感器的調(diào)整
6．1 MEMS硅角速率陀螺的調(diào)整
6．1．1 敏感極性的確定
6．1．2 測量范圍的擴(kuò)展
6．1．2．1 外接運(yùn)算放大器縮小測量范圍的MEMS硅角速率陀螺的調(diào)整方法
6．1．2．2 外接電阻擴(kuò)大較大測量范圍的MEMS硅角速率陀螺的調(diào)整方法
6．1．2．3 外接附加供電擴(kuò)大更大測量范圍的MEMS硅角速率陀螺的調(diào)整方法
6．1．3 零偏的調(diào)整
6．1．3．1 零偏調(diào)整的計算方法
6．1．3．2 零偏調(diào)整的操作工藝
6．1．4 帶寬的調(diào)整
6．1．4．1 一般MEMS硅角速率陀螺帶寬的調(diào)整
6．1．4．2 有外接電阻擴(kuò)大較大測量范圍的MEMS硅角速率陀螺帶寬的調(diào)整
6．1．4．3 有外接附加供電擴(kuò)大更大測量范圍的MEMS硅角速率陀螺帶寬的調(diào)整
6．1．5 自檢測（ST）響應(yīng)值的計算方法
6．1．5．1 一般MEMS硅角速率陀螺自檢測（ST）響應(yīng)值的計算方法
6．1．5．2 有外接電阻和附加供電的MEMS硅角速率陀螺自檢測（ST）響應(yīng)值的計算方法
6．1．6 輸出濾波器參數(shù)的選擇
6．2 MEMS硅線加速度計的調(diào)整
6．2．1 敏感極性的確定
6．2．2 零偏的調(diào)整
6．2．3 帶寬的調(diào)整
6．2．4 輸出噪聲的計算
6．2．5 地球重力加速度1g的處理
……
第7章制造MEMS硅角速率陀螺的企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)
第8章單軸MEMS硅角速率陀螺制造工藝
第9章 MEMS慣性傳感器的測試
第10章 MEMS慣性傳感器產(chǎn)品的環(huán)境試驗
第11章 MEMS慣性傳感器產(chǎn)品的選擇
第12章 MEMS硅角速率陀螺使用說明書及其注釋
第13章 MEMS石英角速率陀螺技術(shù)條件及其注釋
第14章 MEMS慣性傳感器的應(yīng)用及安裝要求
第15章 MEMS慣性傳感器產(chǎn)品應(yīng)用實例
第16章 MEMS慣性傳感器測試儀器及設(shè)備