低溫塵埃等離子體

第1章 塵埃等離子體概述
1．1 塵埃等離子體簡介
1．2 低溫塵埃等離子體應用
1．3 低溫塵埃等離子體的研究方法及現狀
1．4 本章小結
第2章 低溫塵埃等離子體物理基礎
2．1 塵埃顆粒的形成和生長
2．2 塵埃顆粒的充電
2．3 塵埃顆粒的受力
2．4 本章小結
第3章 硅薄膜中塵埃顆粒成核階段
3．1 概述
3．2 模型描述
3．3 模擬結果與討論
3．4 本章小結
第4章 硅薄膜中塵埃顆粒凝聚階段
4．1 概述
4．2 凝聚過程模擬
4．3 結果與討論
4．4 本章小結
第5章 甚高頻放電中塵埃顆粒生長階段的二維模擬
5．1 概述
5．2 二維模型描述
5．3 模擬結果與討論
5．4 本章小結
第6章 碳薄膜中塵埃顆粒形成機制研究
6．1 概述
6．2 模型描述
6．3 模擬結果與討論
6．4 本章小結
第7章 脈沖調制射頻放電中塵埃顆粒生長機制研究．
7．1 概述
7．2 模型描述
7．3 結果與討論
7．4 本章小結
第8章 結論
參考文獻