金屬有機物氣相外延 理論與實踐（第2版）

第一章　OMVPE方法概述…………………………………………………… １
　１．１　引言………………………………………………………………………… １
?。保病⊥庋蛹夹g的比較…………………………………………………………… ２
?。保场MVPE生長過程概述…………………………………………………… ７
　參考文獻………………………………………………………………………… １４
第二章　熱力學………………………………………………………………… １６
?。玻薄∠嗥胶獾臒崃W基礎……………………………………………………… １７
?。玻病∠鄨D………………………………………………………………………… ３４
?。玻场⊥庋由L的熱力學驅動力………………………………………………… ６０
?。玻础」虘B(tài)組分………………………………………………………………… ６５
?。玻怠∷脑怠?８１
?。玻丁”砻鏌崃W……………………………………………………………… ８２
　參考文獻………………………………………………………………………… ８９
第三章　表面物理過程………………………………………………………… ９９
　３．１　引言………………………………………………………………………… ９９
?。常病”砻鏈y量技術…………………………………………………………… １００
?。常场”砻嫣匦缘闹苯佑^測…………………………………………………… １０５
?。常础≡蛹壣L過程………………………………………………………… １０８
?。常怠”砻孢^程對OMVPE生長的影響……………………………………… １２２
　參考文獻………………………………………………………………………… １２６
第四章　源物質………………………………………………………………… １３１
?。矗薄∫浴?１３１
?。矗病I族源…………………………………………………………………… １４０
?。矗场II族有機源…………………………………………………………… １４１
?。矗础 族有機源……………………………………………………………… １４７
　４．５　VI族源…………………………………………………………………… １６８
?。矗丁〗饘儆袡C摻雜源………………………………………………………… １７３
　參考文獻………………………………………………………………………… １７５
第五章　動力學………………………………………………………………… １８６
　５．１　背景……………………………………………………………………… １８６
?。担病MVPE生長過程……………………………………………………… １９４
　５．３　單相熱解反應…………………………………………………………… １９７
?。担础《嘞酂峤夥磻?２４０
　５．５　有序……………………………………………………………………… ２４６
　參考文獻……………………………………………………………………… ２５２
第六章　流體力學與質量輸運……………………………………………… ２６２
?。叮薄∫浴?２６２
?。叮病MVPE的完全流體力學處理………………………………………… ２６３
?。叮场∵吔鐚幽Ｐ汀?２７１
?。叮础∨P式OMVPE反應室近似分析方法…………………………………… ２７２
?。叮怠》磻以O計應用………………………………………………………… ２７６
　參考文獻……………………………………………………………………… ２７７
第七章　OMVPE生長過程設計…………………………………………… ２７９
?。罚薄MVPE生長的綜合模型……………………………………………… ２７９
?。罚病恿W限制的生長……………………………………………………… ２８２
?。罚场≈械葴囟认滤袣鈮悍秶鷥?nèi)的生長過程……………………………… ３０１
　７．４　高溫區(qū)…………………………………………………………………… ３０６
?。罚怠I/VI族化合物的OMVPE生長……………………………………… ３０７
　７．６　總體工藝過程設計……………………………………………………… ３１５
　參考文獻………………………………………………………………………… ３３１
第八章　OMVPE生長的材料……………………………………………… ３４０
?。福薄aAs……………………………………………………………………… ３４０
?。福病lGaAs ………………………………………………………………… ３５２
?。福场aInAs,AlInAs和AlGaInAs ………………………………………… ３６０
?。福础nP ……………………………………………………………………… ３６４
?。福怠aP,GaInP,AlGaInP …………………………………………………… ３７０
　８．６　As/P合金………………………………………………………………… ３７５
?。福贰′R化物及其合金………………………………………………………… ３８０
?。福浮II/V 族氮化物,AlGaInN ……………………………………………… ３９１
　８．９　III/V 族半導體的選區(qū)生長……………………………………………… ３９８
?。福保啊I/VI族半導體………………………………………………………… ３９９
　８．１１　IV 族半導體…………………………………………………………… ４０４
２ 金屬有機物氣相外延(第二版)
?。福保病》前雽w材料…………………………………………………………… ４０５
　參考文獻………………………………………………………………………… ４０８
第九章　超晶格………………………………………………………………… ４２６
　９．１　AlGaAs/GaAs…………………………………………………………… ４２９
?。梗病aInAs/InP ……………………………………………………………… ４３４
?。梗场lGaInP/GaInP ………………………………………………………… ４３８
?。梗础aInAs/GaAs …………………………………………………………… ４４０
　９．５　AlGaInN ………………………………………………………………… ４４３
?。梗丁儗映Ц瘛?４４４
　９．７　Si襯底上的GaAs ……………………………………………………… ４４５
?。梗浮iGe合金………………………………………………………………… ４４６
　９．９　II/VI化合物……………………………………………………………… ４４７
?。梗保啊诫s超晶格……………………………………………………………… ４４９
　９．１１　原子層外延(ALE)……………………………………………………… ４５０
　參考文獻………………………………………………………………………… ４５４
第十章　器件…………………………………………………………………… ４６２
?。保埃薄∽⑷胧郊す馄骱蚅ED ………………………………………………… ４６３
?。保埃病」怆姸O管……………………………………………………………… ４７９
?。保埃场‰娮娱_關器件…………………………………………………………… ４８１
　１０．４　太陽能電池……………………………………………………………… ４８６
?。保埃怠】偨Y……………………………………………………………………… ４８８
　參考文獻………………………………………………………………………… ４８８
文中縮略語……………………………………………………………………… ４９７
金屬有機源分子符號………………………………………………………… ５００
索引……………………………………………………………………………… ５０２