現(xiàn)代薄膜材料與技術(shù)

　　《現(xiàn)代薄膜材料與技術(shù)》由薄膜制備技術(shù)、薄膜檢測技術(shù)和典型薄膜材料及其應用3部分構(gòu)成，系統(tǒng)介紹了現(xiàn)代薄膜技術(shù)中涉及的真空的獲得和測量方法、薄膜制備技術(shù)中重要的物理和化學方法、薄膜材料常用的結(jié)構(gòu)分析和性能測試方法，全面闡述了典型薄膜材料的制備、結(jié)構(gòu)、性能和應用。此外，《現(xiàn)代薄膜材料與技術(shù)》還結(jié)合筆者的研究工作，設置了磁控濺射鍍膜技術(shù)和非晶碳膜的結(jié)構(gòu)和性能表征方法兩個專題內(nèi)容?！冬F(xiàn)代薄膜材料與技術(shù)》可作為普通高等工科院校的材料及相關專業(yè)的薄膜材料與技術(shù)課程的教學用書，也可供從事薄膜材料生產(chǎn)和開發(fā)的工程技術(shù)人員參考。

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