壓電式微動(dòng)機(jī)構(gòu)動(dòng)力學(xué)與仿真分析

第1章 緒論
1.1 研究背景及意義
1.2 壓電式微動(dòng)平臺(tái)的研究現(xiàn)狀
1.2.1 單驅(qū)動(dòng)進(jìn)給機(jī)構(gòu)
1.2.2 雙驅(qū)動(dòng)進(jìn)給機(jī)構(gòu)
1.2.3 微位移機(jī)構(gòu)
1.2.4 定位機(jī)構(gòu)
1.3 壓電式驅(qū)動(dòng)器的研究現(xiàn)狀
1.3.1 壓電超聲波驅(qū)動(dòng)器
1.3.2 準(zhǔn)靜態(tài)壓電驅(qū)動(dòng)器
1.4 主要研究?jī)?nèi)容

第2章 壓電材料的基本特性與試驗(yàn)測(cè)試
2.1 引言
2.2 壓電本構(gòu)方程
2.2.1 壓電彈性體的應(yīng)變
2.2.2 壓電彈性體的位移
2.3 壓電陶瓷的特性
2.4 壓電堆棧的工作原理
2.5 壓電堆棧的工作特性
2.5.1 電學(xué)特性
2.5.2 遲滯特性
2.6 本章小結(jié)

第3章 基于直圓型柔性鉸鏈的一維微動(dòng)平臺(tái)
3.1 引言
3.2 直圓型柔性鉸鏈的力學(xué)特性
3.2.1 常用柔性鉸鏈的結(jié)構(gòu)形式
3.2.2 直圓型柔性鉸鏈轉(zhuǎn)動(dòng)剛度與設(shè)計(jì)參數(shù)的關(guān)系
3.3 基于直圓型柔性鉸鏈的一維微動(dòng)平臺(tái)動(dòng)力學(xué)分析
3.3.1 微動(dòng)平臺(tái)設(shè)計(jì)
3.3.2 微動(dòng)平臺(tái)動(dòng)力學(xué)分析
3.4 基于直圓型柔性鉸鏈的一維微動(dòng)平臺(tái)仿真分析
3.4.1 應(yīng)力及位移分析
3.4.2 模態(tài)分析
3.5 本章小結(jié)

第4章 基于直圓型柔性鉸鏈的微夾持器
4.1 引言
4.2 基于直圓型柔性鉸鏈的微夾持器動(dòng)力學(xué)分析
4.2.1 微夾持器設(shè)計(jì)
4.2.2 微夾持器動(dòng)力學(xué)分析
4.3 基于直圓型柔性鉸鏈的微夾持器仿真分析
4.3.1 應(yīng)力及位移分析
4.3.2 模態(tài)分析
4.4 本章小結(jié)

第5章 基于直圓型柔性鉸鏈的微位移放大機(jī)構(gòu)
5.1 引言
5.2 差式微位移放大原理
5.3 基于直圓型柔性鉸鏈的微位移放大機(jī)構(gòu)動(dòng)力學(xué)分析
5.3.1 微位移放大機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)
5.3.2 微位移放大機(jī)構(gòu)動(dòng)力學(xué)分析
5.4 基于直圓型柔性鉸鏈的微位移放大機(jī)構(gòu)仿真分析
5.4.1 應(yīng)力及位移分析
5.4.2 模態(tài)分析
5.5 本章小結(jié)

第6章 基于S型柔性機(jī)構(gòu)的一維微動(dòng)平臺(tái)
6.1 引言
6.2 S型柔性機(jī)構(gòu)的力學(xué)特性
6.2.1 S型柔性機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)形式
6.2.2 S型柔性機(jī)構(gòu)的剛度系數(shù)
6.2.3 S型柔性機(jī)構(gòu)的剛度與結(jié)構(gòu)參數(shù)的關(guān)系
6.3 基于s型柔性機(jī)構(gòu)的一維微動(dòng)平臺(tái)動(dòng)力學(xué)分析
6.3.1 微動(dòng)平臺(tái)設(shè)計(jì)
6.3.2 動(dòng)力學(xué)分析
6.4 基于S型柔性機(jī)構(gòu)的一維微動(dòng)平臺(tái)仿真分析
6.4.1 應(yīng)力及位移分析
6.4.2 模態(tài)分析
6.5 本章小結(jié)

第7章 基于S型柔性機(jī)構(gòu)的二維微動(dòng)平臺(tái)
7.1 引言
7.2 基于S型柔性機(jī)構(gòu)的二維微動(dòng)平臺(tái)動(dòng)力學(xué)分析
7.2.1 微動(dòng)平臺(tái)設(shè)計(jì)
7.2.2 微動(dòng)平臺(tái)動(dòng)力學(xué)分析
7.3 基于S型柔性機(jī)構(gòu)的二維微動(dòng)平臺(tái)仿真分析
7.3.1 位移及應(yīng)力分析
7.3.2 模態(tài)分析
7.4 本章小結(jié)

第8章 壓電型步進(jìn)式直線(xiàn)驅(qū)動(dòng)器
8.1 引言
8.2 直角柔性鉸鏈剛度與設(shè)計(jì)參數(shù)的關(guān)系
8.3 壓電型步進(jìn)式直線(xiàn)驅(qū)動(dòng)器動(dòng)力學(xué)分析
8.3.1 驅(qū)動(dòng)器設(shè)計(jì)
8.3.2 驅(qū)動(dòng)器動(dòng)力學(xué)分析
8.4 壓電型步進(jìn)式直線(xiàn)驅(qū)動(dòng)器仿真分析
8.4.1 應(yīng)力及位移分析
8.4.2 模態(tài)分析
8.5 本章小結(jié)
參考文獻(xiàn)
名詞索引