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內(nèi)容簡介

　　《TiO2納米層殼結(jié)構(gòu)薄膜氧傳感器》采用納米TiO2球殼薄膜作為敏感薄膜利用Si/TiO2異質(zhì)結(jié)構(gòu)的優(yōu)良電學(xué)特性設(shè)計pn結(jié)襯底電極TiO2氧傳感器。制備完成的TiO2納米球殼直徑在250nm左右，結(jié)構(gòu)完整。能夠滿足提高被測氣體的表面吸附，獲得優(yōu)良的氣體靈敏度的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)?！禩iO2納米層殼結(jié)構(gòu)薄膜氧傳感器》討論了采用MEMS技術(shù)和CMOS工藝相結(jié)合制作的Ti02納米層殼結(jié)構(gòu)薄膜氧傳感器，該傳感器可利用異質(zhì)結(jié)構(gòu)電傳輸及納米球殼的納米效應(yīng)實現(xiàn)O2檢測。

作者簡介

暫缺《TiO2納米層殼結(jié)構(gòu)薄膜氧傳感器》作者簡介

圖書目錄

第1章氣體傳感器研究概述
1.1 半導(dǎo)體氣體傳感器簡介
1.2 寬禁帶TiO2納米半導(dǎo)體材料
1.3 國內(nèi)外TiO2氣體傳感器的研究進(jìn)展
1.4 研究的目的及意義
第2章薄膜特性分析與Si／TiO2異質(zhì)結(jié)構(gòu)的能帶
2.1 TiO2的晶格結(jié)構(gòu)
2.2 氧傳感器的薄膜敏感原理
2.3 薄膜表面空間電場、有效空間電荷層厚度dx的相關(guān)計算（一維近似）
2.4 Si和TiO2中載流子統(tǒng)計分布情況及能帶結(jié)構(gòu)
2.5 Si／TiO2異質(zhì)結(jié)構(gòu)的能帶圖
第3章 TiO2納米層殼結(jié)構(gòu)薄膜氧傳感器結(jié)構(gòu)設(shè)計及傳輸機(jī)制
3.1 氧傳感器的基本結(jié)構(gòu)
3.2 TiO2納米層殼結(jié)構(gòu)薄膜氧傳感器制作工藝
3.3 寬禁帶半導(dǎo)體氣體傳感器電流傳輸特性與機(jī)制
3.4 TiO2納米層殼結(jié)構(gòu)薄膜氧傳感器電流傳輸特性與機(jī)制
第4章 TiO2納米層殼結(jié)構(gòu)薄膜的制備
4.1 W-TiO2薄膜的制備與分析
4.2 Pt-TiO2薄膜的制備與分析
4.3 TiO2納米球殼的制備與分析
4.4 TiO2納米層殼結(jié)構(gòu)薄膜的TEM與sEM分析
第5章氧傳感器性能的測定與分析
5.1 工作溫度對基準(zhǔn)電流的影響
5.2 環(huán)境濕度對基準(zhǔn)電流的影響
5.3 輸出曲線的測量
5.4 選擇性
5.5 響應(yīng)一恢復(fù)時間
參考文獻(xiàn)
后記