基于MEMS技術(shù)的硅脈象傳感與檢測系統(tǒng)的研究

第1章 概述
1.1 引言
1.2 脈象傳感器的分類和研究現(xiàn)狀
1.3 MOSFET壓力傳感器的研究現(xiàn)狀
1.4 納米硅／單晶硅異質(zhì)結(jié)研究現(xiàn)狀
1.5 納米硅／單晶硅異質(zhì)結(jié)MOSFETs脈象傳感與檢測系統(tǒng)的研究目的和意義
1.6 主要研究內(nèi)容
第2章 納米硅／單晶硅異質(zhì)結(jié)MOSFETs脈象傳感器的理論分析與結(jié)構(gòu)設(shè)計
2.1 MOSFETs硅脈象傳感器的理論模型
2.2 MOSFETs硅脈象傳感器的理論分析
2.3 半導體材料壓阻效應基本理論
2.4 納米硅／單晶硅異質(zhì)結(jié)MOSFETs脈象傳感器力敏結(jié)構(gòu)設(shè)計
2.5 納米硅／單晶硅異質(zhì)結(jié)MOSFETs脈象傳感器結(jié)構(gòu)模型
2.6 本章小結(jié)
第3章 納米硅／單晶硅異質(zhì)結(jié)MOSFETs脈象傳感器制作工藝
3.1 納米硅／單晶硅異質(zhì)結(jié)MOSFETs脈象傳感器制作工藝
3.2 納米硅／單晶硅異質(zhì)結(jié)MOSFETs脈象傳感器管芯性能檢測封裝結(jié)構(gòu)
3.3 納米硅／單晶硅異質(zhì)結(jié)MOSFETs脈象傳感器電源激勵方式
3.4 本章小結(jié)
第4章 納米硅／單晶硅異質(zhì)結(jié)MOSFETs脈象傳感器的實驗結(jié)果與討論
4.1 納米硅／單晶硅異質(zhì)結(jié)p-MOSFET特性
4.2 納米硅／單晶硅異質(zhì)結(jié)MOSFETs脈象傳感器的靜態(tài)特性研究
4.3 懸臂梁式納米硅／單晶硅異質(zhì)結(jié)MOSFETs脈象傳感器的測試
4.4 納米硅／單晶硅異質(zhì)結(jié)MOSFE7s脈象傳感器的溫度特性
4.5 本章小結(jié)
第5章 納米硅／單晶硅異質(zhì)結(jié)MOSFETs脈象檢測的系統(tǒng)設(shè)計與實測結(jié)果分析
5.1 納米硅／單晶硅異質(zhì)結(jié)MOSFETs脈象檢測系統(tǒng)的概述
5.2 納米硅／單晶硅異質(zhì)結(jié)MOSFETs脈象檢測系統(tǒng)各功能模塊的設(shè)計
5.3 納米硅／單晶硅異質(zhì)結(jié)MOSFETs脈象檢測系統(tǒng)的脈象檢測結(jié)果
5.4 采用人工神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)處理脈象檢測結(jié)果
5.5 本章小結(jié)
結(jié)論
參考文獻
后記