真空計(jì)量新技術(shù)

前言
第1章 真空計(jì)量基礎(chǔ)知識(shí)
1.1 真空的概念和測(cè)量單位
1.1.1 真空的概念
1.1.2 真空度及測(cè)量單位
1.2 真空區(qū)域的劃分
1.3 真空技術(shù)與真空計(jì)量
1.4 真空計(jì)量的物理基礎(chǔ)——?dú)怏w分子運(yùn)動(dòng)論
1.4.1 氣體分子運(yùn)動(dòng)論的基本原理
1.4.2 氣體的壓力
1.4.3 氣體分子的速率分布——麥克斯韋速率分布
1.4.4 氣體分子平均自由程
1.4.5 電子碰撞氣體引起的電離
1.4.6 分子從表面的反射——余弦定律
1.4.7 熱流逸現(xiàn)象
1.4.8 氣體在管道中的流動(dòng)
1.4.9 氣體通過(guò)小孔的流動(dòng)
1.4.10 用流導(dǎo)的計(jì)算
第2章 超高／極高真空測(cè)量技術(shù)
2.1 電離規(guī)的分類
2.2 熱陰極電離規(guī)（發(fā)射陰極電離規(guī)）
2.3 冷陰極電離規(guī)（交叉場(chǎng)電離規(guī)）
2.4 新型場(chǎng)致發(fā)射陰極電離規(guī)
2.4.1 金屬微尖（陣列）場(chǎng)致發(fā)射陰極電離規(guī)
2.4.2 碳納米管（陣列）場(chǎng)致發(fā)射陰極電離規(guī)
2.5 電離規(guī)的小型化
2.6 真空的激光電離測(cè)量技術(shù)
2.7 我國(guó)在UHV/XHV測(cè)量方面的研究進(jìn)展
2.7.1 電離規(guī)的研制
2.7.2 電離規(guī)計(jì)量學(xué)特性研究
2.8 小結(jié)
第3章 靜態(tài)膨脹法真空標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)下限延伸技術(shù)
3.1 研究現(xiàn)狀
3.2 校準(zhǔn)下限的延伸方法
3.3 靜態(tài)膨脹法真空標(biāo)準(zhǔn)裝置的組成
3.4 校準(zhǔn)方法
3.4.1 一級(jí)膨脹法
3.4.2 二級(jí)膨脹法
3.4.3 三級(jí)膨脹法
3.5 容積比的測(cè)量及不確定度評(píng)定
3.5.1 測(cè)量方法
3.5.2 測(cè)量結(jié)果
3.5.3 測(cè)量不確定度評(píng)定
3.6 性能測(cè)試
3.6.1 極限真空的獲得
3.6.2 非蒸散型吸氣劑泵抽氣特性的研究
3.6.3 靜態(tài)壓力變化的測(cè)試
3.6.4 分離規(guī)的校準(zhǔn)
3.6.5 測(cè)量不確定度評(píng)定
3.7 小結(jié)
第4章 分流法超高／極高真空校準(zhǔn)技術(shù)
4.1 研究現(xiàn)狀
4.2 分流法基本思想
4.3 分流法UHV/XHV校準(zhǔn)裝置的組成
4.4 分流法校準(zhǔn)原理
4.5 分流法UHV/XHV校準(zhǔn)裝置的參數(shù)確定
4.5.1 容積的測(cè)量
4.5.2 氣體流量的測(cè)量
4.5.3 小孔流導(dǎo)c15的測(cè)量
4.5.4 小孔流導(dǎo)比Rc的測(cè)量
4.5.5 小孔流導(dǎo)c9的確定
4.5.6 返流比Rp的測(cè)量
4.6 分流法UHV/XHV校準(zhǔn)裝置的性能測(cè)試
4.6.1 極限真空度測(cè)試
4.6.2 非蒸散型吸氣劑泵的抽氣特性
4.6.3 分離規(guī)的校準(zhǔn)
4.6.4 冷陰極電離規(guī)的校準(zhǔn)
4.6.5 測(cè)量不確定度評(píng)定
4.6.6 測(cè)量不確定度驗(yàn)證
4.7 小結(jié)
第5章 轉(zhuǎn)換器型方向規(guī)及其校準(zhǔn)技術(shù)
……
第6章 小型磁偏轉(zhuǎn)質(zhì)譜計(jì)
第7章 固定流導(dǎo)法校準(zhǔn)真空漏孔技術(shù)
第8章 恒壓法校準(zhǔn)正壓漏孔技術(shù)
第9章 虛擬儀器在真空計(jì)量中的應(yīng)用技術(shù)
參考文獻(xiàn)