新型傳感技術(shù)及應(yīng)用（第二版）

前言
第一版　前言
1　傳感器與敏感材料
　1.1　概述
　1.2　硅材料
　1.3　化合物半導(dǎo)體材料
　1.4　壓電材料
　1.5　磁致伸縮材料
　1.6　形狀記憶合金
　1.7　熔凝石英
　1.8　光導(dǎo)纖維
　1.9　彈性合金
　1.10　納米材料
　思考題與習(xí)題
2　傳感器的制造和封裝技術(shù)
　2.1　概述
　2.2　硅微加工技術(shù)
　2.3　LIGA技術(shù)和Sl，IGA技術(shù)
　2.4　特種精密加工技術(shù)
　2.5　封裝技術(shù)
　思考題與習(xí)題
3　傳感器建模的力學(xué)基礎(chǔ)
　3.1　概述
　3.2　彈性體的應(yīng)力
　3.3　彈性體的應(yīng)變
　3.4　彈性體的物理方程
　3.5　彈性體的能量方程
　思考題與習(xí)題
4　傳感器的建模
　4.1　彈性圓柱體（桿）的建模
　4.2　梁的建模
　4.3　圓平膜片的建模
　4.4　矩形（方形）平膜片的建模
　4.5　波紋膜片的建模
　4.6　E形圓膜片的建模
　4.7　帶有頂蓋的圓柱殼的建模
　4.8　頂端開(kāi)口圓柱殼的建模
　4.9　半球殼的建模
　思考題與習(xí)題
5　硅電容式集成傳感器
　5.1　概述
　5.2　硅電容式集成壓力傳感器
　5.3　硅電容式集成壓力傳感器的接口電路
　5.4　硅電容式加速度傳感器
　5.5　硅電容式角速度傳感器
　思考題與習(xí)題
6　諧振式傳感器
　6.1　概述
　6.2　諧振式傳感器的基礎(chǔ)理論
　6.3　諧振弦式壓力傳感器
　6.4　諧振膜式壓力傳感器
　6.5　諧振筒壓力傳感器
　6.6　諧振式角速率傳感器
　6.7　諧振式直接質(zhì)量流量傳感器
　6.8　硅微結(jié)構(gòu)諧振式傳感器
　6.9　硅微結(jié)構(gòu)諧振式傳感器開(kāi)環(huán)特性測(cè)試儀
　思考題與習(xí)題
7　聲表面波傳感器
　7.1　概述
　7.2　表面波的基本理論
　7.3　聲表面波叉指換能器
　7.4　聲表面波諧振器
　7.5　SAW加速度傳感器
　7.6　SAW壓力傳感器
　7.7　SAW氣體傳感器
　7.8　SAw流量傳感器
　思考題與習(xí)題
8　薄膜傳感器
　8.1　概述
　8.2　幾種薄膜傳感器
　思考題與習(xí)題
9　磁傳感器
　9.1　概述
　9.2　磁傳感器的工作原理
　9.3　霍爾元件與霍爾傳感器
　9.4　磁阻元件和傳感器
　9.5　硅諧振式磁傳感器簡(jiǎn)介
　思考題與習(xí)題
參考文獻(xiàn)