微機電系統(tǒng)與微細(xì)加工技術(shù)

1 緒論
1.1 微機電系統(tǒng)與微型化
1.2 微型化韻基礎(chǔ)——微細(xì)制造
2 微機電系統(tǒng)組成原理及設(shè)計
2.1 微機電系統(tǒng)的組成和工作原理
2.2 微尺度理論基礎(chǔ)
2.3 計算機輔助設(shè)計
習(xí)題
3 微細(xì)加工技術(shù)
3.1 硅微細(xì)加工
3.2 UGA技術(shù)
3.3 微細(xì)電火花加工
3.4 微細(xì)電鑄
3.5 微細(xì)電解加工
3.6 微細(xì)高能柬流加工
習(xí)題
4 微機電系統(tǒng)的檢測
4.1 MEMS器件的幾何量測量
4.2 力學(xué)性能測試
習(xí)題
5 微機電系統(tǒng)的應(yīng)用
5.1 微機電系統(tǒng)的軍事應(yīng)用
5.2 微機電系統(tǒng)在民用工業(yè)中的應(yīng)用
習(xí)題
參考文獻