真空測量與控制

0 緒論
　0.1 真空測量
　0.2 真空計校準(zhǔn)
　0.3 真空檢漏
　0.4 真空測量儀器電路及其發(fā)展
　0.5 真空設(shè)備控制技術(shù)
1 真空測量概述
　1.1 真空度的表征、單位和真空區(qū)域劃分
　1.2 真空計分類
　1.3 真空計測量范圍
　1.4 真空測量的特點和真空計選擇原則
2 液位式真空計
　2.1 U型管真空計
　2.2 壓縮式真空計
3 彈性變形真空計和粘滯性真空計
　3.1 彈性元件真空表
　3.2 電容式薄膜真空計
　3.3 振膜真空計
　3.4 磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計
4 熱傳導(dǎo)真空計
　4.1 熱傳導(dǎo)真空計的工作原理
　4.2 熱傳導(dǎo)真空計的測量范圍
　4.3 電阻真空計
　4.4 熱偶真空計
　4.5 已知混合氣體成分真空度的測量
　4.6 熱傳導(dǎo)真空計的優(yōu)缺點
5 電離真空計
　5.1 熱陰極電離真空計的工作原理
　5.2 普通型熱陰極電離真空計
　5.3 熱陰極電離真空計的測量電路
　5.4 高壓力熱陰極電離真空計
　5.5 超高真空熱陰極電離真空計
　5.6 冷陰極電離真空計
　5.7 放射性電離真空計
6 分壓力測量和殘余氣體分析
　6.1 概述
　6.2 四極質(zhì)譜計
　6.3 其他質(zhì)譜計
　6.4 識譜技術(shù)
7 真空計校準(zhǔn)
　7.1 概述
　7.2 靜態(tài)膨脹法
　7.3 動態(tài)流導(dǎo)法
　7.4 標(biāo)準(zhǔn)壓縮式真空計
　7.5 副標(biāo)準(zhǔn)真空計
8 真空測量技術(shù)
　8.1 氣體種類對真空測量的影響
　8.2 測量系統(tǒng)對被測系統(tǒng)的影響
　8.3 真空規(guī)管安裝對測量的影響
　8.4 特殊條件下的真空測量
9 真空檢漏概述
　9.1 漏氣判斷和漏孔表示法
　9.2 最大允許漏率的估算
　9.3 檢漏方法分類
　9.4 對檢漏方法的要求與選擇
10 各種檢漏方法
　10.1 靜態(tài)升壓法
　10.2 氣泡檢漏法
　10.3 氨氣檢漏法
　10.4 真空計檢漏法
　10.5 離子泵檢漏法
　10.6 氫一鈀檢漏法
　10.7 熒光檢漏法
　10.8 放射性同位素檢漏法
　10.9 慢性漏氣的加速檢測法
11 真空檢漏儀器
　11.1 高頻火花檢漏儀
　11.2 鹵素檢漏儀
　11.3 氣敏半導(dǎo)體檢漏儀
　11.4 氦質(zhì)譜檢漏儀
　11.5 漏率測量的誤差
　11.6 真空檢漏工作的注意事項
12 標(biāo)準(zhǔn)漏孔
　12.1 標(biāo)準(zhǔn)漏孔及其常用的結(jié)構(gòu)形式
　12.2 標(biāo)準(zhǔn)漏孔的校準(zhǔn)
　12.3 標(biāo)準(zhǔn)漏孔使用中應(yīng)注意的問題
13 真空測量儀器電路
　13.1 WZK—1A復(fù)合真空計
　13.2 DC-3型超高真空計
　13.3 ZDZ-2D數(shù)字電阻真空計
　13.4 數(shù)字化熱偶真空計
　13.5 ZDR-10型微機(jī)化電離真空計
　13.6 DNB束功率測量系統(tǒng)設(shè)計
14 真空設(shè)備與系統(tǒng)的自動控制
　14.1 真空系統(tǒng)電氣控制概述
　14.2 真空獲得設(shè)備控制電路
　14.3 真空鍍膜機(jī)繼電器控制電路
　14.4 真空熱處理爐真空測量與控制電路
　14.5 真空冷凍干燥機(jī)電加熱系統(tǒng)控制
　14.6 真空釬焊爐溫度測控電路
　14.7 鍍膜生產(chǎn)線程序控制系統(tǒng)
　14.8 真空壓力浸漆設(shè)備PLC控制系統(tǒng)
　14.9 同步輻射光源真空控制系統(tǒng)
　14.10 真空冶金設(shè)備抽氣裝置專家系統(tǒng)
參考文獻(xiàn)