CMOS MEMS技術(shù)與應(yīng)用

1　制造工藝
　1.1　CMOS工藝
　1.2　CMOS兼容的微機(jī)械加工工藝模塊
　1.3　MEMS和NEMS的CMOS兼容設(shè)計(jì)
　1.4　CMOS的微機(jī)械加工
　1.5　結(jié)束語(yǔ)
　1.6　參考文獻(xiàn)
2　材料表征
　2.1　引言
　2.2　電特性和熱電特性
　2.3　熱特性
　2.4　機(jī)械特性
　2.5　結(jié)束語(yǔ)
　2.6　參考文獻(xiàn)
3　單片集成慣性傳感器
　3.1　引言
　3.2　集成多晶硅慣性傳感器
　3.3　采用CMOS標(biāo)準(zhǔn)工藝加工的薄膜慣性傳感器
　3.4　金屬慣性傳感器
　3.5　體硅加工集成MEMS慣性傳感器
　3.6　發(fā)展趨勢(shì)
　3.7　參考文獻(xiàn)
4　CMOS　MEMS聲學(xué)器件
　4.1　引言
　4.2　麥克風(fēng)
　4.3　揚(yáng)聲器
　4.4　超聲
　4.5　結(jié)論
　4.6　參考文獻(xiàn)
5　CMOS　RF　MEMS
6　CMOS壓力傳感器
7　CMOS化學(xué)傳感器
8　生物測(cè)定CMOS電容式指紋傳感器系統(tǒng)
9　CMOS生化敏感系統(tǒng)
10　CMOS熱傳感器
11　電路和系統(tǒng)集成