微光機電系統(tǒng)（MOEMS）

叢書序
前言
第1章 微光機電系統(tǒng)概述
1.1 微光機電系統(tǒng)的定義與歷史
1.2 MOEMS的應(yīng)用和市場前景
1.3 與MOEMS相關(guān)的資訊
參考文獻
第2章 MOEMS的設(shè)計與仿真
2.1 微型化帶來的“特殊”理論問題
2.2 MOEMS的設(shè)計過程
2.3 MOEMS的仿真及其軟件
2.4 MOEMS CAD軟件
參考文獻
第3章 典型的微結(jié)構(gòu)制造工藝
3.1 微電子工藝概述
3.2 表面工藝
3.3 體硅工藝
3.4 LIGA工藝
3.5 微制造工藝小結(jié)
參考文獻
第4章 MOEMS器件
4.1 MOEMS器件的敏感原理和執(zhí)行方式
4.2 微力學(xué)器件
4.3 RF微器件
4.4 微光學(xué)器件
4.5 微流體器件
4.6 其他微傳感器
參考文獻
第5章 微系統(tǒng)集成
5.1 微封裝技術(shù)
5.2 微系統(tǒng)集成應(yīng)用實例
參考文獻