微傳感器：原理技術及應用

第1章 緒論
1.1 傳感器的分類
1.2 傳感器的理想特性和實際限制
1.3 傳感器的信號獲取及接口
1.3.1 電阻、電容及電感的測量
1.3.2 接口電路
1.3.3 頻率轉換
1.3.4 數(shù)字傳輸
第2章 機械微傳感器
2.1 機械微傳感器的測試參量
2.2 硅微結構的機械性能
2.3 位移微傳感器
2.3.1 基本概念
2.3.2 電容和電感式位移微傳感器
2.3.3 光學位移微傳感器
2.3.4 超聲波位移微傳感器
2.3.5 熱電及其他位移微傳感器
2.3.6 小結
2.4 速度和流速微傳感器
2.4.1 基本概念
2.4.2 熱式流速微傳感器
2.4.3 電容式流量微傳感器
2.4.4 共振微橋式流量微傳感器
2.5 加速度微傳感器
2.5.1 基本概念
2.5.2 壓阻式微加速度計
2.5.3 電容和力平衡式微加速度計
2.5.4 性能比較
2.6 力、壓強和應變微傳感器
2.6.1 基本概念
2.6.2 力微傳感器
2.6.3 應力敏感的電子器件
2.6.4 壓強微傳感器
2.6.5 應變微傳感器
2.7 質量微傳感器
2.7.1 基本概念
2.7.2 壓電式質量微傳感器
2.7.3 表面聲波諧振微傳感器
2.8 其他機械參數(shù)的測試
2.8.1 粗糙度與形狀
2.8.2 粘度與密度
2.8.3 聲與超聲微傳感器
第3章 熱微傳感器
3.1 引言
3.2 基本概念及定義
3.2.1 基本術語
3.2.2 熱交換的形式
3.3 非接觸溫度測量
3.4 熱機械傳感器
3.5 熱敏電阻
3.5.1 熱阻效應
3.5.2 金屬熱敏電阻
3.5.3 半導體熱敏電阻
3.6 熱二極管
3.6.1 基本原理
3.6.2 集成的熱二極管
3.7 熱晶體管
3.7.1 基本原理
3.7.2 集成的熱晶體管
3.8 熱電偶
3.9 其他電測量的熱微傳感器
3.9.1 熱開關
3.9.2 微熱量計
3.10 其他非電測量的熱微傳感器
3.10.1 溫度計
3.10.2 溫度指示器和光纖傳感器
3.10.3 表面聲波溫度微傳感器
3.11 性能比較和商品器件
3.11.1 常用熱微傳感器的性能比較
3.11.2 熱微傳感器商品
第4章 磁微傳感器
4.1 霍爾效應器件
4.1.1 霍爾效應和霍爾器件的工作原理
4.1.2 霍爾傳感器的設計及霍爾材料
4.1.3 MOS霍爾片
4.1.4 集成霍爾器件
4.2 半導體磁阻效應及其器件
4.3 磁敏二極管和磁敏三極管
4.3.1 磁敏二極管
4.3.2 磁敏三極管
4.4 磁通門微磁強計
4.5 隧道效應磁強計
4.6 超導量子干涉磁強計
4.7 磁阻和巨磁電阻材料及其器件
4.7.1 磁阻效應器件
4.7.2 巨磁電阻傳感器
第5章 光微傳感器與輻射微傳感器
5.1 概述
5.1.1 核輻射與電磁輻射
5.1.2 輻射的度量
5.1.3 輻射傳感器的分類
5.2 核輻射微傳感器
5.2.1 基于電離的探測器
5.2.2 閃爍探測器
5.2.3 直接固態(tài)輻射探測器
5.2.4 其他的探測器類型
5.3 光學微傳感器
5.3.1 概述
5.3.2 直接光學微傳感器
5.3.3 間接光學微傳感器
5.3.4 生物光學微傳感器
第6章 聲波微傳感器
6.1 引言
6.1.1 聲波技術和壓電效應
6.1.2 聲波的傳播
6.2 用于聲波傳感器的壓電材料
6.2.1 壓電體材料
6.2.2 壓電薄膜材料
6.3 聲波的探測
6.4 聲波微傳感器的類型
6.4.1 體聲波微傳感器
6.4.2 表面聲波微傳感器
6.5 實用的聲波微傳感器
6.5.1 加速度微傳感器
6.5.2 溫度微傳感器
6.5.3 壓力微傳感器
6.5.4 扭矩微傳感器
6.5.5 質量（重量）微傳感器
6.5.6 露點（濕度）微傳感器
6.5.7 化學蒸氣微傳感器
6.5.8 生物微傳感器
第7章 化學生物微傳感器
7.1 化學生物微傳感器的一些基本概念
7.1.1 化學生物微傳感器的定義
7.1.2 生物化學傳感器的分類
7.2 電阻式化學微傳感器
7.2.1 引言
7.2.2 金屬氧化物氣體傳感器
7.2.3 有機材料氣體微傳感器
7.3 化學電容器
7.4 化學二極管
7.4.1 無機肖特基器件
7.4.2 有機肖特基器件
7.5 化學三極管
7.5.1 金屬氧化物場效應晶體管(MOSFET)氣體傳感器
7.5.2 離子選擇場效應晶體管(ISFETs)
7.6 熱化學微傳感器
7.6.1 電熱調(diào)節(jié)器
7.6.2 Pellistor氣體傳感器
7.6.3 熱電偶氣體傳感器
7.7 質量敏感型化學微傳感器
7.7.1 壓電型器件
7.7.2 表面聲波（SAW）生化微傳感器
7.8 化學微傳感器的應用
7.9 化學微傳感器最新進展
第8章 集成傳感器、智能傳感器及靈巧傳感器
8.1 集成傳感器、智能傳感器及靈巧傳感器的一般定義
8.2 測量控制系統(tǒng)的組成和功能
8.2.1 總線結構傳感系統(tǒng)
8.2.2 傳感節(jié)點結構及界面標準
8.2.3 傳感器的補償
8.3 接口電路
8.3.1 基本模塊
8.3.2 電阻式傳感器的接口電路
8.3.3 電容式傳感器的接口電路
8.4 集成傳感器的制備技術
8.4.1 集成電路制備技術的回顧
8.4.2 常規(guī)技術和要求
8.5 靈巧傳感器的設計
8.5.1 電路的功能
8.5.2 集成度
8.5.3 信號處理的集成
8.5.4 自校準微傳感器
8.5.5 自測試微傳感器
8.5.6 多功能微傳感器
8.6 靈巧傳感器的應用實例
8.6.1 多元件靈巧氣體分析儀
8.6.2 監(jiān)測水質的靈巧傳感系統(tǒng)
8.6.3 溫控表面聲波靈巧氣體傳感器
第9章 微傳感器陣列及微傳感器網(wǎng)絡
9.1 微傳感器陣列器件的定義和基本設想
9.1.1 微傳感器陣列器件的定義
9.1.2 陣列傳感器的功能
9.2 輻射陣列傳感器
9.2.1熱陣列傳感器
9.2.2光陣列傳感器
9.3 機械陣列傳感器
9.4 磁陣列傳感器
9.5 化學陣列傳感器
9.5.1 基本原理
9.5.2 氣體傳感器陣列
9.5.3 氣味傳感器陣列
9.6 微傳感器網(wǎng)絡