聲表面波傳感器

第一章 聲表面波傳感器概論
一、引言
二、聲表面波技術(shù)基礎(chǔ)
三、聲表面波傳感器理論基礎(chǔ)
第二章 聲表面波諧振式壓力傳感器
一、壓力的基本定義及各種單位
二、聲表面波揩振式壓力傳感器的組成及工作原理
三、聲表面波諧振式壓力傳感器敏感元件的有限元設(shè)計(jì)
五、聲表面波諧振式壓力傳感器信號檢測電路的設(shè)計(jì)
六、聲表面波諧振式壓力傳感器的誤差分析
第三章 聲表面波加速度傳感器
一、概述
二、聲表面波加速度傳感器的工作機(jī)理
三、聲表面波加速度傳感器的結(jié)構(gòu)形式
四、聲表面波加速度傳感器誤差分析
五、聲表面波加速度傳感器的測試
第四章 聲表面波流量傳感器
一、概述
二、聲表面波流量傳感器的工作機(jī)理
三、聲表面波流量傳感器的理論分析
四、聲表面波流量傳感器的動態(tài)響應(yīng)
第五章 聲表面波氣體傳感器
一、概述
二、聲表面波氣體傳感器的工作機(jī)理
三、敏感薄膜與傳感器特性之間的關(guān)系
第六章 聲表面波角速度傳感器
一、概述
二、聲表面波中陀螺效應(yīng)的理論推導(dǎo)
三、聲表面波中陀螺效應(yīng)的大小及方向的分析
四、聲表面波中陀螺效應(yīng)產(chǎn)生原因的定性分析
第七章 聲表面波傳感器溫度補(bǔ)償方法的研究
一、利用差動結(jié)構(gòu)進(jìn)行溫度補(bǔ)償
二、利用頻率測量時計(jì)數(shù)門時間與溫度有關(guān)進(jìn)行溫度補(bǔ)償
三、利用單片機(jī)實(shí)現(xiàn)溫度補(bǔ)償
第八章 浮動零點(diǎn)法及其在聲表面波傳感器中的應(yīng)用
一、概述
二、差動原理
三、浮動坐標(biāo)原理
四、浮動零點(diǎn)法
五、結(jié)論
參考文獻(xiàn)