聲表面波傳感器

第一章 聲表面波傳感器概論
一、引言
二、聲表面波技術基礎
三、聲表面波傳感器理論基礎
第二章 聲表面波諧振式壓力傳感器
一、壓力的基本定義及各種單位
二、聲表面波揩振式壓力傳感器的組成及工作原理
三、聲表面波諧振式壓力傳感器敏感元件的有限元設計
五、聲表面波諧振式壓力傳感器信號檢測電路的設計
六、聲表面波諧振式壓力傳感器的誤差分析
第三章 聲表面波加速度傳感器
一、概述
二、聲表面波加速度傳感器的工作機理
三、聲表面波加速度傳感器的結構形式
四、聲表面波加速度傳感器誤差分析
五、聲表面波加速度傳感器的測試
第四章 聲表面波流量傳感器
一、概述
二、聲表面波流量傳感器的工作機理
三、聲表面波流量傳感器的理論分析
四、聲表面波流量傳感器的動態(tài)響應
第五章 聲表面波氣體傳感器
一、概述
二、聲表面波氣體傳感器的工作機理
三、敏感薄膜與傳感器特性之間的關系
第六章 聲表面波角速度傳感器
一、概述
二、聲表面波中陀螺效應的理論推導
三、聲表面波中陀螺效應的大小及方向的分析
四、聲表面波中陀螺效應產生原因的定性分析
第七章 聲表面波傳感器溫度補償方法的研究
一、利用差動結構進行溫度補償
二、利用頻率測量時計數(shù)門時間與溫度有關進行溫度補償
三、利用單片機實現(xiàn)溫度補償
第八章 浮動零點法及其在聲表面波傳感器中的應用
一、概述
二、差動原理
三、浮動坐標原理
四、浮動零點法
五、結論
參考文獻