現(xiàn)代精密儀器設(shè)計(jì)

一、現(xiàn)代精密儀器設(shè)計(jì)概論
1.1 概述
1.2 現(xiàn)代精密儀器的基本組成
1.3 現(xiàn)代精密儀器設(shè)計(jì)的指導(dǎo)思想、原則與程序
思考題
二、精密儀器總體設(shè)計(jì)
2.1 設(shè)計(jì)方法概述
2.2 設(shè)計(jì)任務(wù)分析
2.3 主要參數(shù)與技術(shù)指標(biāo)
2.4 總體方案的制定
思考題
三、精密儀器設(shè)計(jì)的精度理論
3.1 儀器精度理論中的若干基本概念
3.2 儀器誤差的來源與分析
3.3 儀器誤差的計(jì)算分析方法
3.4 儀器誤差的綜合
3.5 儀器精度設(shè)計(jì)與誤差分配
3.6 儀器的動(dòng)態(tài)精度
思考題與習(xí)題
四、精神機(jī)械系統(tǒng)
4.1 基座與支承件
4.2 精密x-y工作臺(tái)
4.3 主軸系統(tǒng)
思考題與習(xí)題
五、微位移技術(shù)
5.1 概述
5.2 壓電、電致伸縮器件
5.3 電磁控制的微動(dòng)工作臺(tái)
5.4 柔性鉸鏈
5.5 精密微動(dòng)工作臺(tái)的設(shè)計(jì)及其特性分析
5.6 其他類型的微位移機(jī)構(gòu)
思考題與習(xí)題
六、光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)
6.1 概述
6.2 光輻射源及特片
6.3 信噪比的計(jì)算方法
6.4 光學(xué)系統(tǒng)基本參數(shù)的確定
6.5 光電系統(tǒng)中參數(shù)的確定
6.6 總體設(shè)計(jì)舉例
思考題與習(xí)題
七、定位與測量系統(tǒng)
7.1 概述
7.2 光柵定位測量系統(tǒng)
7.3 激光干涉定位測量系統(tǒng)
7.4 其他編碼器
思考題與習(xí)題
八、瞄準(zhǔn)與對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)
8.1 接觸式瞄準(zhǔn)方法
8.2 非接觸式瞄準(zhǔn)方法
8.3 光電自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)
思考題與習(xí)題
九、自動(dòng)調(diào)焦系統(tǒng)
十、精密機(jī)械伺服系統(tǒng)設(shè)計(jì)
十一、微型機(jī)電系統(tǒng)
參考文獻(xiàn)