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內(nèi)容簡介

　　內(nèi)容簡介電子槍與離子束技術(shù)近年來在科學(xué)研究和工業(yè)生產(chǎn)中得到了廣泛的應(yīng)用，尤其在冶金、宇航、電子工業(yè)中材料表面改性等領(lǐng)域的新工藝中更為多見。本書介紹了電子槍與離子束的理論基礎(chǔ)，電子與等離子產(chǎn)生的機理，通過電場、磁場或復(fù)合場把產(chǎn)生的荷電粒子束進(jìn)行聚焦、偏轉(zhuǎn)、掃描等控制其運動規(guī)律的各種裝置及其設(shè)計計算。內(nèi)容分8章：電子束光學(xué)，電子束技術(shù)基礎(chǔ)，離子束物理基礎(chǔ)，強流軸向電子槍，偏轉(zhuǎn)電子槍設(shè)計原理，空心陰極（HCD）電子槍，離子束應(yīng)用技術(shù)，S槍離子濺射源的設(shè)計。作者基于多年的教學(xué)和科研實踐，對內(nèi)容進(jìn)行了仔細(xì)的選取，力求理論與實際應(yīng)用相結(jié)合，將與電子槍和離子束技術(shù)有關(guān)的基礎(chǔ)理論與設(shè)計方法有機地結(jié)合在一起，較詳細(xì)地論述了各種電子槍和離子槍的設(shè)計原理、設(shè)計計算方法及其應(yīng)用；在內(nèi)容上做到既具有一定的理論深度和系統(tǒng)性，又對相關(guān)設(shè)備的設(shè)計應(yīng)用具有實踐上的指導(dǎo)作用，為讀者提供一個精練清晰、系統(tǒng)實用的內(nèi)容體系。本書適合于真空技術(shù)、真空冶金、材料工程、熱處理、焊接等部門從事設(shè)計、生產(chǎn)、研究和設(shè)備應(yīng)用與維護(hù)的技術(shù)人員參考使用，也可供高等學(xué)校相關(guān)專業(yè)用做教材。

作者簡介

暫缺《電子槍與離子束技術(shù)》作者簡介

圖書目錄

1 電子光學(xué)
1.1 電子光學(xué)特征
1.2 軸對稱電場中的電子運動
1.3 電透鏡
1.4 磁透鏡
1.5 實用磁透鏡
1.6 靜電透鏡與磁透鏡的比較
2 電子束技術(shù)基礎(chǔ)
2.1 電子束的產(chǎn)生及性質(zhì)
2.2 電子槍概述
2.3 強流電子槍設(shè)計基礎(chǔ)
2.4 電子束蒸發(fā)沉積
3 離子束物理基礎(chǔ)
3.1 等離子體基本性質(zhì)
3.2 等離子體的分類
3.3 等離子體的獲得
3.4 低溫等離子體中粒子運動和效電基本過程
3.5 離子束與材料表面的相互作用
4 強流軸向電子槍
4.1 概述
4.2 軸向電子槍基本結(jié)構(gòu)和工作原理
4.3 軸向電子束發(fā)生系統(tǒng)設(shè)計計算
4.4 電子光路系統(tǒng)設(shè)計計算
4.5 槍室真空系統(tǒng)設(shè)計
4.6 電子槍的調(diào)試
4.7 強流軸向槍電源設(shè)計
4.8 電子槍x射線的形成與屏蔽防護(hù)
5 偏轉(zhuǎn)電子槍
5.1 電子束流磁偏轉(zhuǎn)理論基礎(chǔ)
5.2 偏轉(zhuǎn)電子槍工作原理與結(jié)構(gòu)
5.3 偏轉(zhuǎn)槍（e型槍）參數(shù)設(shè)計
5.4 偏轉(zhuǎn)電子槍束流設(shè)計計算
5.5 壓差孔的設(shè)計
5.6 電子槍頭的安裝與調(diào)試
5.7 偏轉(zhuǎn)電子槍電源
6 空心陰極放電（hcd）電子槍
6.1 空心陰極放電效應(yīng)
6.2 空心陰極電子槍工作原理
6.3 空心陰極電子槍設(shè)計參數(shù)
6.4 hcd槍中等離子體的離化率與電流形成
6.5 偏轉(zhuǎn)電磁場的設(shè)計計算
6.6 空心陰極與輔助陽極的設(shè)計
6.7 離子鍍中等離子源的束流偏轉(zhuǎn)
7 離子束技術(shù)
7.1 離子源
7.2 離子注入技術(shù)
7.3 離子束沉積技術(shù)
8 s槍離子濺射源的設(shè)計基礎(chǔ)
8.1 s槍的基本原理與結(jié)構(gòu)
8.2 s槍濺射源結(jié)構(gòu)設(shè)計
8.3 s槍磁控濺射的工作特性
8.4 基本參數(shù)的設(shè)計計算
參考文獻(xiàn)