微系統(tǒng)原理與技術(shù)

前言
第1章 微系統(tǒng)概述
1.1 微系統(tǒng)的基本概念和特點
1.2 微系統(tǒng)的動力學(xué)及非線特征
1.2.1 微系統(tǒng)的力學(xué)特征
1.2.2 微系統(tǒng)的動力學(xué)特征
1.2.3 微系統(tǒng)動力學(xué)的非線性特征
1.3 微系統(tǒng)的應(yīng)用前景
參考文獻
第2章 微尺度理論及效應(yīng)
2.1 微尺度固體力學(xué)
2.1.1 塑性應(yīng)變梯度理論的本構(gòu)關(guān)系
2.1.2 平衡變分關(guān)系
2.2 微尺度流體力學(xué)
2.2.1 微尺度流動特點
2.2.2 微流體雙電層效應(yīng)
2.2.3 微流體電滲流
2.3 微尺度熱傳導(dǎo)
2.4 微尺度理論的研究方法
參考文獻
第3章 微系統(tǒng)的設(shè)計技術(shù)
3.1 微系統(tǒng)設(shè)計流程
3.2 微系統(tǒng)設(shè)計方法
3.2.1 微系統(tǒng)模塊化設(shè)計
3.2.2 微系統(tǒng)集成化設(shè)計
3.3 微系統(tǒng)設(shè)計關(guān)鍵技術(shù)
3.4 微系統(tǒng)CAD
3.4.1 微系統(tǒng)CAD的體系結(jié)構(gòu)
3.4.2 MEMS CAD軟件
參考文獻
第4章 微系統(tǒng)的制造技術(shù)
4.1 光刻和刻蝕技術(shù)
4.1.1 掩模制備
4.1.2 薄膜沉積
4.1.3 光刻
4.1.4 濕法刻蝕
4.1.5 干法刻蝕
……
第5章 微系統(tǒng)的檢測技術(shù)
第6章 微系統(tǒng)的集成及控制技術(shù)
第7章 典型微系統(tǒng)——芯片實驗室
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