金剛石薄膜沉積制備工藝與應用

　　這是一本較全面地敘述金剛石薄膜沉積制備工藝與應用的書。本書從金剛石薄膜的優(yōu)異性能和應用前景出發(fā)，闡述了各種沉積薄膜的制備方法；論述了金剛石薄膜的非平衡熱力學和金剛石膜聲場的動力學因素；較詳盡地探討了能大面積沉積金剛石膜的熱絲裝置和當今沉積速率最高的等離子射流裝置的一些關鍵技術和成膜關鍵技術和成膜工藝；同時介紹了性能接近金剛石膜、易實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化、應用前景看好的雷金剛石膜的制備工藝、性能和應用。最后展望了金剛石膜未來的發(fā)展前景，指出金剛石膜必將成為21世紀有影響的功能薄膜材料。

暫缺《金剛石薄膜沉積制備工藝與應用》作者簡介