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內(nèi)容簡(jiǎn)介

　　本書(shū)討論以半導(dǎo)體激光器為光源的干涉理論及在幾何量測(cè)量中的應(yīng)用技術(shù)，全書(shū)共八章。以半導(dǎo)體激光器體積小，重量輕、輸出光可調(diào)諧、易集成等優(yōu)點(diǎn)為基礎(chǔ)所形成的半導(dǎo)體激光干涉技術(shù)，為實(shí)現(xiàn)許多物理量的高精度、非接觸、在線測(cè)量提供可能。本書(shū)作為半導(dǎo)體激光干涉理論及其應(yīng)用技術(shù)的系統(tǒng)總結(jié)，詳細(xì)介紹有關(guān)的理論基礎(chǔ)、可能出現(xiàn)問(wèn)題的具體解決方法，詳細(xì)討論了利用各種輸出光調(diào)諧方式進(jìn)行幾何量干涉測(cè)量的理論及技術(shù)。本書(shū)所討論的內(nèi)容基本上反映了近年來(lái)該領(lǐng)域的主要成就，涉及到了幾何量測(cè)量的大部分內(nèi)容，有廣泛的適用性，可以作為從事精密儀器、光學(xué)儀器以及其他儀器儀表研究、應(yīng)用的專業(yè)技術(shù)人員的參考書(shū)，對(duì)從事機(jī)械制造、航天航空、電子工業(yè)等領(lǐng)域的有關(guān)人員也一定會(huì)有較大的幫助。