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實用集成電路工藝手冊

實用集成電路工藝手冊

定　價：￥12.50

作　者： 沈文正等編
出版社： 宇航出版社
叢編項：
標　簽： 集成電路
ISBN： 9787800342059 出版時間： 1989-01-01 包裝：
開本： 26cm 頁數(shù)： 423頁 字數(shù)：  

內(nèi)容簡介

　　本書輯錄了集成電路制作所涉及的所有工藝，如硅材料、氧化、擴散、光刻與制版、 化學(xué)氣相淀積、鈍化技術(shù)、凈化與清洗、工藝模擬等。

作者簡介

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