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集成電路工藝基礎

集成電路工藝基礎

定　價：￥7.25

作　者： 王陽元等編著
出版社： 高等教育出版社
叢編項： 固體物理教學叢書
標　簽： 暫缺
ISBN： 9787040033144 出版時間： 1991-01-01 包裝：
開本： 21cm 頁數： 610頁 字數：  

內容簡介

　　本書主要內容有：硅晶體結構，擴散、離子注入、外延、氧化、化學汽相淀積、光刻、刻蝕等十二章。

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