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薄膜科學(xué)與技術(shù)手冊

薄膜科學(xué)與技術(shù)手冊

定　價：￥52.00

作　者： 田民波，劉德令編譯
出版社： 機(jī)械工業(yè)出版社
叢編項：
標(biāo)　簽： 薄膜
ISBN： 9787111026297 出版時間： 1991-05-01 包裝： 精裝
開本： 27cm 頁數(shù)： 996頁 字?jǐn)?shù)：  

內(nèi)容簡介

　　本書介紹了薄膜基礎(chǔ)，薄膜制備工藝，薄膜性能檢測和薄膜技術(shù)的應(yīng)用。本冊為薄膜技術(shù)的應(yīng)用。

作者簡介

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