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抗蝕劑及其微細加工技術

抗蝕劑及其微細加工技術

定　價：￥6.50

作　者： 顧振軍，孫猛主編
出版社： 上海交通大學出版社
叢編項：
標　簽： 集成電路 耐蝕材料 集成電路工藝
ISBN： 9787313006172 出版時間： 1989-03-01 包裝：
開本： 26cm 頁數： 236頁 字數：  

內容簡介

　　本書以作為微電子器制造時的核心的抗蝕劑及其微細加工技術為對象，就其定義、沿革、工藝、反應理論、配套技術、各類抗蝕劑、分析測試及應用、展望等進行了全面詳述。

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