光微機(jī)械電子學(xué)

第1章 光微機(jī)械電子學(xué)概述
1.1 機(jī)械電子學(xué)
1.2 革新的方向
1.3 光微機(jī)械電子學(xué)的地位
1.4 微動(dòng)力學(xué)和光學(xué)技術(shù)
第2章 光微機(jī)械電子學(xué)的技術(shù)狀況
2.1 光技術(shù)創(chuàng)造的精密機(jī)器與信息機(jī)器
2.2 光微機(jī)械電子學(xué)技術(shù)的本質(zhì)
2.3 光束強(qiáng)度控制的實(shí)例
2.4 光束定位控制
第3章 光微機(jī)械電子學(xué)中的間斷定位
3.1 重復(fù)頻率控制原理與控制機(jī)構(gòu)
3.2 重復(fù)頻率控制特性
3.3 脈沖周期的穩(wěn)定及應(yīng)用
第4章 光微機(jī)械電子學(xué)中的速度控制
4.1 波長(zhǎng)掃描原理與控制機(jī)構(gòu)概要
4.2 波長(zhǎng)同步掃描與精密光學(xué)測(cè)量?jī)x器
第5章 光微機(jī)械電子學(xué)中的跟蹤定位
5.1 傳統(tǒng)型的光盤跟蹤定位
5.2 浮動(dòng)頭型光盤裝置的跟蹤定位
5.3 復(fù)合諧振腔型激光位移傳感器
第6章 光微機(jī)械電子學(xué)的基礎(chǔ)光學(xué)
6.1 光學(xué)基礎(chǔ)
6.2 光學(xué)諧振腔及其應(yīng)用
第7章 光微機(jī)械電子學(xué)的基礎(chǔ)力學(xué)
7.1 微小物體動(dòng)力學(xué)
7.2 梁的運(yùn)動(dòng)方程式
7.3 微領(lǐng)域中的流體運(yùn)動(dòng)
7.4 考慮空氣阻力的梁的運(yùn)動(dòng)
7.5 摩擦引起的爬行
第8章 向光納米幾電子學(xué)的發(fā)展
8.1 納米技術(shù)的發(fā)展潮流
8.2 新一代光納米存儲(chǔ)技術(shù)
索引