光微機械電子學

第1章 光微機械電子學概述
1.1 機械電子學
1.2 革新的方向
1.3 光微機械電子學的地位
1.4 微動力學和光學技術
第2章 光微機械電子學的技術狀況
2.1 光技術創(chuàng)造的精密機器與信息機器
2.2 光微機械電子學技術的本質
2.3 光束強度控制的實例
2.4 光束定位控制
第3章 光微機械電子學中的間斷定位
3.1 重復頻率控制原理與控制機構
3.2 重復頻率控制特性
3.3 脈沖周期的穩(wěn)定及應用
第4章 光微機械電子學中的速度控制
4.1 波長掃描原理與控制機構概要
4.2 波長同步掃描與精密光學測量儀器
第5章 光微機械電子學中的跟蹤定位
5.1 傳統(tǒng)型的光盤跟蹤定位
5.2 浮動頭型光盤裝置的跟蹤定位
5.3 復合諧振腔型激光位移傳感器
第6章 光微機械電子學的基礎光學
6.1 光學基礎
6.2 光學諧振腔及其應用
第7章 光微機械電子學的基礎力學
7.1 微小物體動力學
7.2 梁的運動方程式
7.3 微領域中的流體運動
7.4 考慮空氣阻力的梁的運動
7.5 摩擦引起的爬行
第8章 向光納米幾電子學的發(fā)展
8.1 納米技術的發(fā)展潮流
8.2 新一代光納米存儲技術
索引