硅微型慣性器件理論及應用

0　緒論
　0.1　微機系統(tǒng)與微型制造技術
　0.2　硅微型慣性器件及微慣性測量組合
1　微型慣性器件的物理基礎
　1.1　硅材料的物理性能
　1.2　微型慣性器件的動力學基礎
　1.3　微機械元件的彈性理論基礎
2　硅微型加速度計
　2.1　概述
　2.2　原理結構
　2.3　誤差分析及補償
　2.4　硅微加速度計的測試與定標
3　硅微型框架驅動或陀螺儀
　3.1　結構組成和作用原理
　3.2　運動方程
　3.3　誤差分析
　3.4　結構設計
4　硅微型梳狀驅動陀螺儀
　4.1　音叉式振動陀螺儀
　4.2　靜電梳狀驅動諧振器
　4.3　硅微型梳狀線振動驅動式陀螺儀
　4.4　硅微型梳狀角振動驅動式陀螺儀
　4.5　諧振頻率的調節(jié)
　4.6　硅微型振動陀螺儀的計算機輔助分析
5　硅微型慣性器件的制備
　5.1　硅微機械加工技術簡介
　5.2　硅微型慣性器件的制備
6　硅微型慣性儀表的測控技術
7　硅微型慣性器件的組合及應用
參考文獻